每個HBLED制造商的目標(biāo)都是花更少的錢獲得更多的光輸出。面對強(qiáng)大的競爭和眾多技術(shù)障礙，至關(guān)重要的是所有的生產(chǎn)步驟的推進(jìn)都要產(chǎn)生最佳的效果。優(yōu)化的等離子刻蝕提供了幾種方法以改善功率電感器件的輸出并降低制造成本，從而實(shí)現(xiàn)雙重贏利。

　　2、圖形化藍(lán)寶石襯底

　　現(xiàn)在藍(lán)寶石仍是生長HBLED結(jié)構(gòu)的襯底選擇。不過，采用藍(lán)寶石生長也存在兩個問題：藍(lán)寶石沒有完美的晶格匹配，光提取會因?yàn)橛袃蓚€平行的反射面而減少。未來解決這兩個問題，從2005年起一些公司就在生長之前就在藍(lán)寶石上刻蝕了圖形。這可以使一個成品器件的光提取性能改善98%以上。
藍(lán)寶石是一種非常穩(wěn)定的物質(zhì)，熔點(diǎn)在2054度，因此難以進(jìn)行等離子刻蝕。不過，在降低到通常的150度之前，用來實(shí)現(xiàn)非常具體的圖案形成的光阻仍有一個溫度上限。PR是這個過程選擇的掩膜，最終的“圓頂”狀依賴于所有掩膜去除的完成，其形狀與藍(lán)寶石和掩膜的相對刻蝕速率密切相關(guān)。由于簡化了生產(chǎn)流程，降低每流明的整體成本，PR也成為了首選。

　　為了對材料進(jìn)行刻蝕，Cl2、BCl3、Ar的組合常用于以較高等離子源實(shí)現(xiàn)的較高刻蝕速率。不過，這增加了試樣的熱負(fù)荷，因此，使用PR作為掩膜可以保持較高的刻蝕速率，為此有必要對晶圓試插件電感器生產(chǎn)樣進(jìn)行有效的冷卻。

　　硅產(chǎn)業(yè)習(xí)慣于將單晶圓緊固在溫度控制工作臺上，并在工作臺和晶圓之間引入了傳熱介質(zhì)，通常是氦?！昂け趁胬鋮s”已經(jīng)成為單晶圓溫度控制的標(biāo)準(zhǔn)方法。HBLED制造目前市區(qū)批次較小的襯底，傳送到輸送板上的刻蝕工具。對于圖形化藍(lán)寶石襯底刻蝕，HBLED器件仍然主要制造2英寸或者4英寸晶圓，因此可以顯著降低成本，它對以一次運(yùn)行處理盡可能多的晶圓是可行的方法。大量光阻延膜晶圓的刻蝕要求控制好每個晶圓的溫度，這需要了解怎樣將來自等離子的熱量從試樣到冷卻電極轉(zhuǎn)移出來。氦氣背面冷卻是關(guān)鍵，同時要了解怎樣使每片晶圓德奧有效冷卻，以確保成功。這種技術(shù)的批量規(guī)模從20*2英寸到高達(dá)43*2英寸，刻蝕速率在50nm/分和100nm/分之間，速率取決于PR掩膜和PSS形狀要求。

　　3、GaN刻蝕

　　GaN的化學(xué)穩(wěn)定性和高鍵合強(qiáng)度、其熔點(diǎn)2500度和鍵能也是它具有很高的耐酸或堿刻蝕劑濕刻蝕能力。到目前為止，由于缺乏合適的濕刻蝕工藝，使人們對開發(fā)合適HBLED生產(chǎn)的干刻蝕工藝產(chǎn)生了極大的興趣。這必須是單批次進(jìn)行大量晶圓刻蝕。20世紀(jì)90年代后期，等離子刻蝕批次規(guī)模從4*2英寸晶圓增加至今天的55*2英寸或3*8英寸，現(xiàn)在的問題是在其吸引力消失之前它可以處理多大批次。隨著晶圓尺寸從2英寸到4英然后是6英寸的向上遷一體成型電感生產(chǎn)廠家移，這個問題也得到了解決。GaN刻蝕的主要應(yīng)用領(lǐng)域是淺接點(diǎn)刻一體電感蝕和高深寬比結(jié)構(gòu)刻蝕。